一种用于单晶炉的粉碎进料装置的制造方法 【技术领域】 [0001]本发明涉及单晶炉领域,特别是一种用于单晶炉的粉碎进料装置。【背景技术】 [0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础 单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。
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1.多晶硅的生产工艺：从西门子法到改良西门子法 从西门子法到改良西门子法的演进是一个从开环到闭环的过程。 1955年,德国西门子开发出以氢气（H2）还原高纯度三氯氢硅（SiHCl3）,在加热到1100℃左右的硅芯（也称"硅棒"）上沉积多晶硅的生产工艺；1957年,这种多晶硅生产工艺开始应用于 …气流粉碎机 成品粒径：2~150um,具有粒度细,粒径范围窄,变频可控,恒温无污染等特点 运行原理： 高压气源系统与气流粉碎主机、旋风收集器、除尘器、引风机等组成一套粉碎系统,高压气体经过滤处理,从拉瓦尔喷嘴以超音速射入粉碎腔,物料粉碎后,在分级系统的作用下,粗细物料分离
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晶圆上游： 1. 石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅 其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑ 2. 为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。为了形成单晶硅,还需要控制晶体的方向,坩埚带着多晶硅熔化物在旋转,把一颗籽晶浸入其中,并且由拉制棒带着籽晶作反方向旋转,同时慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。 熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。
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粉碎单晶硅,(这是工业制作发)不知你喜不喜欢本发明涉及冶炼技术领域,尤其是涉及电冶炼炉中的一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法,其特征在于：分别将二氧化硅和炭素原料粉碎1mm以下的细末,按照重量比为SiO2∶C＝1∶(0.4～0.6)的比例成型；所述成型方法单晶硅烘箱特点 1,本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。2,本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
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