立式磨机西北机器厂生产

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生产样机 μm——部分技术突破 其他装备: 磁增强金属刻蚀机、大束流离子注入机、平坦化IMD、磁控测射、立式LPCVD、多室PECVD、GaAs汽相外延设备、快速热处理等该芯片生产设备功能:把晶圆,切割成小片的Die。 主要企业(品牌):国际:日本DISCO公司、德国OEG公司。 国内:中国电子科技集团第四十五所、北京科创源光电技术有限公司、沈阳仪器仪表工

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