晶片先用昭和真空生产的磁控溅射镀膜机SPH2500进行镀膜,为了提高镀层密着性,先镀少量的铬膜,然后按频率要求镀银膜,总膜厚约为1.73u。使得在离子束刻蚀加工前的频率与目标频率的差结 论对于红外截止滤光片的膜系设计,文章用等效导纳理论来分析薄膜架构和性能,终按照产品规格确定了各个膜层的参数,并用计算机模拟和微调出薄膜系统通过分
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