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深腔(DeepRecessed)HEMT中的厚AlGaN或GaN帽层增加了表面到沟道的距离,因此在没有表面钝化情况下会导致表面陷阱引起的色散减少或消除,因为与传统的AlGaN / GaN深腔(DeepRecessed)HEMT中的厚AlGaN或GaN帽层增加了表面到沟道的距离,因此在没有表面钝化情况下会导致表面陷阱引起的色散减少或消除,因为与传统的AlGaN / GaN
